| 发明名称 |
SELECTIVE FORMATION METHOD OF SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07142389(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930287969 |
申请日期 |
1993.11.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SUGA KATSUYUKI;TAKIZAWA YUTAKA;TANAKA TSUTOMU;YANAI KENICHI;TAKEUCHI FUMIYO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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