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发明名称 SEMICONDUCTOR PROBE
摘要
申请公布号 JPH07140168(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930289666 申请日期 1993.11.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NIIYAMA HIRONOBU
分类号 G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/067 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
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