发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07142575(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930288925 申请日期 1993.11.18
申请人 NEC CORP 发明人 UEDA TAKASHI
分类号 H01L21/66;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L27/14;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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