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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0729423(U)	申请公布日期	1995.06.02
申请号	JP19930059906U	申请日期	1993.11.08
申请人		发明人
分类号	G01F23/30;G01F23/62;H01L33/00;(IPC1-7):G01F23/30	主分类号	G01F23/30
代理机构		代理人
主权项
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