发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS AND ELECTRON BEAM DEFLECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH07142351(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930287896 申请日期 1993.11.17
申请人 NEC CORP 发明人 YAMASHITA HIROSHI
分类号 G21K5/04;G03F7/20;H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
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