发明名称 |
COMPOSITE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07142571(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
申请号 |
JP19930283709 |
申请日期 |
1993.11.12 |
申请人 |
UBE IND LTD |
发明人 |
NOGUCHI TAKAHIRO;SHIMIZU MICHIMASA;KATSUKI SHOZO;WATANABE YOSHIAKI;ITOYAMA HISAAKI |
分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/762 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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