发明名称 WAFER BONDER
摘要
申请公布号 JPH07142431(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930286427 申请日期 1993.11.16
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI YOSHINORI;ESASHI TOSHIRO;HATTA KENICHI
分类号 B23Q3/08;B24B41/06;H01L21/304 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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