发明名称 RADICAL SOURCE
摘要
申请公布号 JPH07142200(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930314156 申请日期 1993.11.19
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HIGUCHI KATSUSHI;KIKUCHI YUKIO;UCHIYAMA TOYOJI;NEGISHI TOSHIO;TAKAGI KENICHI;FUKAZAWA HIROYUKI
分类号 H05H3/02;B01J19/08;(IPC1-7):H05H3/02 主分类号 H05H3/02
代理机构 代理人
主权项
地址