发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07142587(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930283053 申请日期 1993.11.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 FUCHIGAMI NOBUTAKA;SHIGETA JUNJI
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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