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发明名称 FORMATION OF AL BASED WIRING
摘要
申请公布号 JPH07142485(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930314428 申请日期 1993.11.18
申请人 SONY CORP 发明人 SATA HIROSHI
分类号 H01L21/285;H01L21/203;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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