发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07142422(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19900404671 申请日期 1990.12.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 CHIN SEISHIYOU
分类号 H01L21/28;H01L21/205;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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