ASTIGMATISM CORRECTING METHOD AND DEVICE FOR SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE OR THE LIKE,申请号JP19930288087-传众专利搜索

发明名称	ASTIGMATISM CORRECTING METHOD AND DEVICE FOR SCANNING TYPE CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE OR THE LIKE
摘要
申请公布号	JPH07142021(A)	申请公布日期	1995.06.02
申请号	JP19930288087	申请日期	1993.11.17
申请人	NIKON CORP	发明人	KOHAMA SADAAKI
分类号	H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153	主分类号	H01J37/153
代理机构		代理人
主权项
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