| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR OXIDATION PROCESSING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07142460(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930314356 |
申请日期 |
1993.11.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD |
发明人 |
HONMA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
