| 发明名称 |
TEMPERATURE MONITOR IN FURNACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07142417(A) |
申请公布日期 |
1995.06.02 |
| 申请号 |
JP19930292132 |
申请日期 |
1993.11.22 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NAKAZONO FUMIYA;NAGATANI HIROSHI |
| 分类号 |
G01K1/02;F27D21/00;F27D21/04;G01K7/00;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
G01K1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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