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发明名称 ENCODER
摘要
申请公布号 JPH07139970(A) 申请公布日期 1995.06.02
申请号 JP19930286356 申请日期 1993.11.16
申请人 NIKON CORP 发明人 OOKI HIROFUJI;IWASAKI JUN
分类号 G01D5/353;G01B11/00;G01D5/26;G01D5/38;(IPC1-7):G01D5/26 主分类号 G01D5/353
代理机构 代理人
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