发明名称 Verfahren zur Pruefung einzelner Bauelemente oder Schaltungsteile von einer oder mehreren integrierten Schaltung
摘要
申请公布号 DE1514871(A1) 申请公布日期 1969.12.18
申请号 DE19651514871 申请日期 1965.09.17
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 ENGBERT,REINER
分类号 G01R31/28;H01L23/544;H01L27/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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