| 发明名称 |
Werkwijze en inrichting voor het etsen van dunne lagen, bij voorkeur van indium-tin-oxyde-lagen. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL9401790(A) |
申请公布日期 |
1995.06.01 |
| 申请号 |
NL19940001790 |
申请日期 |
1994.10.27 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J27/16;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L31/18;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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