Überwachungsstruktur für Dünnschichtverdrahtungen.
摘要
申请公布号
DE68922381(D1)
申请公布日期
1995.06.01
申请号
DE19896022381
申请日期
1989.11.11
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
DEUTSCH, ALINA, MOUNT KISCO, N.Y. 10549, US;OPRYSKO, MODEST M., MAHOPAC, N.Y. 10541, US;RITSKO, JOHN J., MOUNT KISCO, N.Y. 10549, US;ROTHMAN, LAURA B., SOUTH KENT CONNECTICUT 06785, US
