发明名称 Verfahren zum Herstellen von Halbleitern
摘要
申请公布号 DE1931417(A1) 申请公布日期 1970.01.08
申请号 DE19691931417 申请日期 1969.06.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP. 发明人 YOKOZAWA,NASAMI
分类号 B60P1/16;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22 主分类号 B60P1/16
代理机构 代理人
主权项
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