发明名称 硅单晶片贴带装置
摘要 本实用新型涉及一种使用于硅单晶片的贴带机械,属于一种集成电路的加工机械。本实用新型采用工作台传动机构1、压力轮剥轮传动机构2、刀具升降机构4、刀具传动机构53、工作台气动机构3以及出入料机构组成本实用新型的基本结构。本实用新型与现有技术相比具有下例优点:效率提高,减少了废品,贴带效果好。
申请公布号 CN2199596Y 申请公布日期 1995.05.31
申请号 CN94239099.7 申请日期 1994.07.25
申请人 赵广文 发明人 赵广文
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 上海东方专利事务所 代理人 沈原
主权项 1、一种硅单晶片贴带装置,由工作台传动机构、压力轮、剥轮传动机构、工作台气动机构以及出入料机构构成,其特征在于: a.所述的工作台传动机构(1)包含一个电动机M,其连杆(30)上设有一离合器(11),并通过链条(27、21)、连杆(34)与螺杆(9)连接,螺杆(9)通过一组螺纹连接工作台(15),螺杆(9)的一端设有制动装置(6);b.所述的压力轮剥轮传动机构(2),包含电动机M,由其连杆(30)通过链条(29)与连杆(31)连接,再以链条(28)连接连杆(32),且连杆(31)及连杆(32)之间分别设有两组平行链条(24、23和22、25),链条(23、24)之间垂直设一压力轮(10),而链条(22、25)间压力轮(10)之右侧设一剥轮组(14),该剥轮组(14)由两滚筒形圆柱轮叠合构成,上方为压轮(55),下方为剥轮(54),剥轮的一端设置一个小齿轮(52),该小齿轮(52)跨于链条(26)之上,链条(26)连接连杆(31)及连杆(33),并在连杆(33)上设一制动装置(5); c.所述的工作台气动机构(3),由一凹形台座、真空泵(17、18)、吹气装置(16)和一平台(20)构成,在平台(20)下有一组弹簧(19)与工作台(15)相连,平台(20)上设有环形顶持块(35),其恰与工作台(15)相连成一水平,环形顶持块(35)的中央及凹型工作台的环形凸面各设一组真空吸口,这两组吸口分别与真空泵(17、18)连接,平台中间设一吹气管与吹气装置连结; d.刀具的控制采用刀具升降机构及刀具旋转机构。
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