申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
KITAMURA, HAJIME, ICHIHARA-SHI, CHIBA-KEN, JP;UENO, SUSUMU, KASHIMA-GUN, IBARAKI-KEN, JP;WATANABE, MIKIO, KASHIMA-GUN, IBARAKI-KEN, JP;USUKI, MASAHIRO, KASHIMA-GUN, IBARAKI-KEN, JP;NAKANO, TOSHIHIKO, KASHIMA-GUN, IBARAKI-KEN, JP |