| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE AND SPUTTERING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07138753(A) |
申请公布日期 |
1995.05.30 |
| 申请号 |
JP19930323520 |
申请日期 |
1993.12.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ICHIHARA KATSUTARO;OKUBO MICHIKO;INOUE NAOYUKI;YASUDA NOBURO |
| 分类号 |
C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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