发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM CLEANER. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0489862(B1) |
申请公布日期 |
1995.05.24 |
申请号 |
EP19900914354 |
申请日期 |
1990.08.29 |
申请人 |
C.V.D. SYSTEM CLEANERS CORPORATION |
发明人 |
ALBRECHT, JOHN, WILLIAM |
分类号 |
B08B9/093;C23C16/44;F28D7/10;F28G1/16;(IPC1-7):B08B9/08 |
主分类号 |
B08B9/093 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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