发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ENTFERNEN VON SCHICHTEN VON SUBSTRATEN.
摘要
申请公布号 DE3650127(T2) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19863650127T 申请日期 1986.08.25
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US;FSI INTERNATIONAL, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 BLACKWOOD, ROBERT, STEPHAN, LUBBOCK, TX 79424, US;BIGGERSTAFF, REX, LEE, LUBBOCK, TX 79424, US;CLEMENTS, LUTHER, DAVIS, LINCOLN, NS 68506, US;CLEAVELIN, CLOVES, RINN, LUBBOCK, TX 79424, US
分类号 H01L21/302;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址