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发明名称 Arc-evaporator with several evaporation crucibles.
摘要
申请公布号 EP0438627(B1) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 EP19900112124 申请日期 1990.06.26
申请人 VTD-VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH 发明人 LUNOW, THOMAS;MENZEL, HORST;PAETZELT, PETER;WILBERG, RUEDIGER, DIPL.-ING.;WINKLER, ROLF
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/06 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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