发明名称 Parallel scan type ion implanter
摘要
申请公布号 GB2284092(A) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 GB19940023009 申请日期 1994.11.15
申请人 * NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA 发明人 OSAMU * TSUKAKOSHI;YUZO * SAKURADA;KOUICHI * NIIKURA;YASUO * MIHARA
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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