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经营范围
发明名称
Parallel scan type ion implanter
摘要
申请公布号
GB2284092(A)
申请公布日期
1995.05.24
申请号
GB19940023009
申请日期
1994.11.15
申请人
* NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA
发明人
OSAMU * TSUKAKOSHI;YUZO * SAKURADA;KOUICHI * NIIKURA;YASUO * MIHARA
分类号
C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/147
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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