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发明名称 Musterbildungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE69201291(T2) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19926001291T 申请日期 1992.10.01
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TOYODA, OSAMU, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;BETSUI, KEIICHI, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 C23C14/04;H01J9/02;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/14;(IPC1-7):H01J9/02;H01J37/305 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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