发明名称
摘要
申请公布号 JPH0748514(B2) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 JP19880293745 申请日期 1988.11.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/225;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/74 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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