发明名称 Composition for Polishing Crystalline Silicon and Germanium and Process.
摘要
申请公布号 GB1188820(A) 申请公布日期 1970.04.22
申请号 GB19670019936 申请日期 1967.05.01
申请人 TIZON CHEMICAL CORPORATION 发明人 RAYMOND LEO LACHAPELLE
分类号 C09K3/14;H01L21/306 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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