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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0748574(B2)	申请公布日期	1995.05.24
申请号	JP19870154386	申请日期	1987.06.23
申请人		发明人
分类号	F02P3/12;F23Q3/00;H01L41/08;H01L41/113;(IPC1-7):H01L41/113	主分类号	F02P3/12
代理机构		代理人
主权项
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