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发明名称 Verfahren zur Durchführung einer Plasmareaktion bei Atmosphärendruck.
摘要
申请公布号 DE68922244(D1) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19896022244 申请日期 1989.06.06
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKAZAKI, SACHIKO, SUGINAMI-KU TOKYO, JP;KOGOMA, MASUHIRO, WAKO-CITY SAITAM, JP
分类号 C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
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