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发明名称 Stapelkondensator und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE4238081(C2) 申请公布日期 1995.05.24
申请号 DE19924238081 申请日期 1992.11.11
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKATANI, YASUO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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