透平压气机的密封方法和结构以及采用它的激光器

摘要

用于气体激光设备中使气体沿激光器的流动通路流动的一种透平式压气机，包括一围绕驱动轴的密封结构，用于防止不良物质沿驱动轴移动到压气机叶轮上。密封结构包括一第一密封，用于在轴转动期间绕轴密封，以及第二密封，包括一弹性囊，该囊膨胀和收缩，以与驱动轴接触或脱离接触，一方面当驱动轴静止时，用于密封轴，另一方面，当轴转动时用于使囊从轴退回。

主权项

1、一种气体激光设备，它包括限定激光气体流动通路的装置，用于激发在所述设备中沿所述流动通路流动的气体以使所述气体产生激光的装置，以及一个用于使气体沿所述气路流动的压气机，所述压气机包括可绕一个轴线转动的一个驱动轴，一个安装在所述驱动轴上随轴转动的叶轮，所述叶轮在其上有多个叶片，用来压缩气体以使其沿所述流动通路流动，以及一围绕所述驱动轴的一密封结构，当激光器正在运行，驱动轴转动期间，以及在激光器运行前由于在降低激光器中的压力期间驱动轴为静止时，该结构用于防止不良物质沿所述驱动轴移动到所述叶轮上，所述密封结构包括一个第一密封，用于至少在轴的转动期间绕驱动轴密封，以及一个第二密封，包括一柔性密封元件，可使其选择性地移动，与驱动轴接触和脱离接触，用以在驱动轴静止时密封驱动轴，以防止不良物质沿驱动轴移动，其中所述第一密封是一真空压力密封，在其中，围绕着所述驱动轴可以保持真空，用以防止不良物质沿所述驱动轴移动到所述叶轮上，所述设备还包括一真空压力源以及一使所述真空压力源与所述第一密封连接起来的流体通道。