| 发明名称 |
Method of measuring specific contact resistivity of self-aligned contacts in integrated circuits. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0352940(B1) |
申请公布日期 |
1995.05.24 |
| 申请号 |
EP19890307107 |
申请日期 |
1989.07.13 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
LYNCH, WILLIAM THOMAS;KWOK NG, KWOK |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R27/14;G01R31/27;H01L21/28;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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