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经营范围
发明名称
Plasma sources
摘要
申请公布号
GB9506676(D0)
申请公布日期
1995.05.24
申请号
GB19950006676
申请日期
1995.03.31
申请人
APPLIED VISION LIMITED
发明人
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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