发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07135264(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930178524 申请日期 1993.06.28
申请人 NEC CORP 发明人 ENOMOTO SHUICHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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