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发明名称 MASS FLOW CONTROLLER DEVICE AND ITS CALIBRATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07134052(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930282202 申请日期 1993.11.11
申请人 NEC CORP 发明人 KOYAMA NORIHIKO
分类号 G01F15/02;G01F1/76;G05D7/06;(IPC1-7):G01F1/76 主分类号 G01F15/02
代理机构 代理人
主权项
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