| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR VAPOR PHASE SYNTHESIS OF DIAMOND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07133195(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
JP19930275627 |
申请日期 |
1993.11.04 |
| 申请人 |
SHOWA DENKO KK;HIROSE YOICHI |
发明人 |
KOMAKI KUNIO;YAMAMOTO ISAMU;HIROSE YOICHI |
| 分类号 |
B23P15/28;C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
B23P15/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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