发明名称 ION BEAM CURRENT MEASURING DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH07135099(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930279160 申请日期 1993.11.09
申请人 JAPAN ATOM ENERGY RES INST 发明人 MIZUHASHI KIYOSHI
分类号 G01R33/02;G01R33/035;H05H7/00;H05H13/04;(IPC1-7):H05H7/00 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
主权项
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