发明名称 |
ION BEAM CURRENT MEASURING DEVICE AND METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07135099(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
申请号 |
JP19930279160 |
申请日期 |
1993.11.09 |
申请人 |
JAPAN ATOM ENERGY RES INST |
发明人 |
MIZUHASHI KIYOSHI |
分类号 |
G01R33/02;G01R33/035;H05H7/00;H05H13/04;(IPC1-7):H05H7/00 |
主分类号 |
G01R33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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