发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07135203(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930305960 申请日期 1993.11.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 TEZUKA IZUMI
分类号 H01L23/29;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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