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发明名称
MULTILAYER PEIZOELECTRIC ACTUATOR
摘要
申请公布号
JPH07135346(A)
申请公布日期
1995.05.23
申请号
JP19930162679
申请日期
1993.06.30
申请人
TOKIN CORP
发明人
FUDA YOSHIAKI
分类号
H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/083
主分类号
H01L41/083
代理机构
代理人
主权项
地址
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