发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07135222(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930144558 申请日期 1993.06.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUDO SUMIHISA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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