发明名称 METALLIC PARTS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE, THEIR MANUFACTURE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07135276(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19940248500 申请日期 1994.09.16
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TSUJIOKA MASANORI;MATSUMURA JUNZO
分类号 H01L23/14;H01L23/02;H01L23/04;H01L23/06;(IPC1-7):H01L23/14 主分类号 H01L23/14
代理机构 代理人
主权项
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