| 发明名称 |
METHOD FOR MONITORING TEMPERATURE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07134069(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
JP19930281249 |
申请日期 |
1993.11.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
CHIBA NATSUYO;NISHITANI EISUKE;UCHIDA NORIHIRO;KOBAYASHI HIDE;WATANABE TOMOJI |
| 分类号 |
G01J5/10;G01J5/00;G01J5/08;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/10 |
主分类号 |
G01J5/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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