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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH07135144(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930157488 申请日期 1993.06.28
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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