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发明名称 HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07135235(A) 申请公布日期 1995.05.23
申请号 JP19930159604 申请日期 1993.06.29
申请人 HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK 发明人 SASAKI YUKIO
分类号 H01L21/60;H01L21/027;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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