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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH07134969(A)
申请公布日期
1995.05.23
申请号
JP19930279258
申请日期
1993.11.09
申请人
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD
发明人
WASHIMI AKITOMO
分类号
H01J27/14;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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