| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07134968(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
JP19930279255 |
申请日期 |
1993.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
WASHIMI AKITOMO |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/317;H01L21/306 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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