| 发明名称 |
MULTILAYER WIRING STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07135209(A) |
申请公布日期 |
1995.05.23 |
| 申请号 |
JP19930279738 |
申请日期 |
1993.11.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHIO MIKIO;HASHIMOTO SHIN |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C18/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/538;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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