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发明名称 PROCESS OF LASER GETTERING OF SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 RU2035802(C1) 申请公布日期 1995.05.20
申请号 SU19894664757 申请日期 1989.01.19
申请人 SVIRNOVSKIJ LEV D 发明人 SVIRNOVSKIJ LEV D
分类号 H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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